快速热处理设备
快速热处理设备
“RHT系列半导体快速热处理设备”是微电子所研制开发的具有自主知识产权的产品。该设备已获1项美国专利、4项中国专利、1项日本专利，1990、1991年先后获得国家发明二等奖和中国专利金奖，目前广泛应用于国内大规模集成电路、Ⅲ－V族化合物半导体、微机械的研制与生产中，1997年还获得德国CE认证，取得了进入欧共体市场的准入证。几年来，已生产销售三十多台，为国家节省外汇一千多万美元，不仅满足了国内科研院所、大专院校、生产厂家的需求，而且还出口美国等地，取得了明显的社会效益
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