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ZETA三维显微镜在发光二极管领域应用

高亮度发光二极管

图案化蓝宝石基板PSS上长有密集的几何图案生产厂家需要监测其高度和形状的均匀性。

- PSS图案不仅可以降低螺纹状位错密度而且能够减少内部全反射效应从而提高出光效率。然而PSS图案尺寸小、侧壁陡峭这给诸如干涉仪和激光共聚焦显微镜等常规光学轮廓仪带来极大的挑战。
- 如果使用探针式台阶仪和原子力显微镜花在测量上的时间就会过长大于10分钟而且它们不能提供足够的PSS芯片统计数据。

 

对PSS应用而言Zeta-20是个理想的解决方案。扫描230μm×173μm的视场区域只需不到一分钟时间。本页所展示的图像表明PSS图案可以清晰地得以分辨。跟原子力显微镜或探针式台阶仪不同Zeta-20可以在短时间内获得大视场区域的定量结果。

 

Zeta-20 三维应用软件可以让用户做单个或多个截面分析。测量标尺可以自动定位用来计算几何图案的高度和宽度。其他功能还包括粗糙度测量利用二维框或圆形标尺量尺寸以及将数据以跟电子表格和数据库兼容的格式加以储存。

发光二极管面板的测量

由于塑料漫散射面板上有陡峭的几何图案所以它无法用其他光学轮廓仪来检验。

- 探针式台阶仪和原子力显微镜的测量速度慢无法在短时间内提供足够的统计数据。
- 原子力显微镜不能测量大尺寸表面形貌。



 

对塑料漫散射面板应用而言Zeta-20是个理想的解决方案。扫描94μm×70μm的视场区域只需不到一分钟时间。本页所展示的图像表明漫散射面板上的图案可以清晰地得以分辨。跟原子力显微镜或探针式台阶仪不同Zeta-20可以在短时间内获得大视场区域的定量结果。

 

泽塔技术可以对反射率非常低、粗糙度很高的表面进行成像。
- 这为测量图案化蓝宝石基板以及发光二极管封装用的塑料漫散射面板提供了理想的解决方案

跟其它测量PSS的仪器不同 Zeta-20可以在短时间内对大视场区域进行成像。
- 大面积三维成像可以让用户采集更多有意义的数据。与此相反其它仪器往往只提供一条或几条线上的数据。

storeomega 04.01.2012 0 248
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